فیب فلور پر، فوٹو ریزسٹ کو بھوننے یا ویفر کو خشک کرنے کے دوران درجہ حرارت میں تغیرات صرف ایک تکنیکی مسئلہ نہیں ہے؛ بلکہ یہ پورے عمل کو ناکام بنا سکتا ہے۔ پرانے طرز کے لیمپ، مطلوبہ درجہ حرارت کو برقرار رکھنے کی کوشش کرتے ہیں، لیکن جب فضا میں تبدیلی آتی ہے، تو فلم میں تناؤ پیدا ہوتا ہے، جس کی وجہ سے خامیاں پیدا ہوتی ہیں۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم کنٹرولڈ-ایٹموسفیئر لیمپ استعمال کرتے ہیں، جن میں شارٹ-ویو ہیلوجن/کوارٹز عناصر ہوتے ہیں، اور ان میں بند-لوپ تھرمل کنٹرول سسٹم بھی موجود ہے۔ اس سے ویفر کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر ہی رہتا ہے۔ چیمبر میں کلاس 1–100 کی سطح کی صفائی برقرار رہتی ہے، اور لیمپ سے کوئی ذرات خارج نہیں ہوتے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی درجہ حرارت میں 5% سے کم تغیر ہوتا ہے، اس لیے ہر بار پروڈکشن کا معیار یکساں ہی رہتا ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت یہ ہے کہ لیمپ، سافٹ بیک اور ہارڈ بیک دونوں صورتوں میں درجہ حرارت کو بہت درستگی کے ساتھ کنٹرول کرتا ہے، جس سے کناروں پر موجود نقائص اور باقی رہنے والے محلولوں کے مسائل کم ہو جاتے ہیں۔ ویفر کی صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، یہ لیمپ تیز اور کنٹرولڈ حرارت فراہم کرتا ہے، جس سے عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے۔ پیکیجنگ کے عمل میں، یہ لیمپ مستحکم حرارت فراہم کرتا ہے، جس سے پیکیجنگ میں کوئی خرابی نہیں پیدا ہوتی۔
اس کا نتیجہ یہ ہے کہ دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، CD کنٹرول بہتر رہتا ہے، اور پروڈکشن کی رفتار بھی بہتر رہتی ہے۔
کچھ عملی نکات:
یہ لیمپ نئے آلات اور پرانے آلات دونوں میں استعمال کیے جا سکتے ہیں، لیکن فضا کا سسٹم آپ کے گیس پینل اور اخراج نظام سے ہم آہنگ ہونا ضروری ہے۔ کلین روم کے معیارات کے مطابق بجلی کی ترتیبات کو منظم کرنا ضروری ہے، اور یہ بھی یقینی بنانا ضروری ہے کہ آپ کے آلات حرارتی تغیرات کو برداشت کر سکیں۔ لیمپ کی زندگی بہت طویل ہے، لیکن اس کی کارکردگی کو باقاعدگی سے چیک کرنا ضروری ہے، تاکہ اس کی درستگی برقرار رہ سکے۔