http://ir-heating-tech.com/uk/tags/%D0%BB%D1%96%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D1%96%D1%8F/ Recent content in Літографія on Advanced IR Heating Technology Hugo uk Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/uk/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/uk/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Нагрівальний елемент для процесу пом якшення під час літографії"></p> <p>На лінграфічному поверсі м’який випік — це не просто розігрів. Це суворо контрольований тепловий етап, який фіксує вміст розчинника, встановлює адгезію фоторезисту та безпосередньо впливає на контроль ширини ліній. Відхилення на півградуса може змістити TMU, а гаряча точка здатна стати повторюваним дефектом по всьому ваферу. Ми розробили нагрівач, щоб виключити цю невизначеність із теплового бюджету.</p> <p>Головне у виробничих умовах — це стабільна продуктивність, на яку можна покластися при інтенсивній роботі треку. Нагрівач швидко виходить на режим, забезпечує рівномірність у сталому стані по всій поверхні випікання і підтримує чистоту в чистій кімнаті виробництва.</p>