Припиніть використовувати звичайні системи нагріву для вашої вакуумної камери
Якщо ви працюєте у сфері обробки напівпровідників, то знаєте про всі труднощі, які це супроводжує. Потрібно нагріти пластину, але водночас не хочеться перетворювати всю вакуумну камеру на піч.
Стандартні інфрачервоні лампи є досить некерованими – вони поширюють тепло всюди. Більша частина енергії просто відбивається від пластини та потрапляє на внутрішні стінки камери. Незабаром корпус камери стає настільки гарячим, що може завдати шкоди людині. Крім того, існує ризик деформації корпусу через надмірне нагрівання. Це справжня проблема.
Секрет полягає у тому, щоб направити тепло саме туди, куди потрібно.
Замість того, щоб використовувати звичайну кварцову трубку та сподіватися на краще, ми використовуємо напрямлене інфрачервоне випромінювання. Це схоже на заміну звичайної лампи на променевий ліхтар. Завдяки спеціалізованим відбивачам та випромінювачам ми можемо сконцентрувати енергію інфрачервоного випромінювання в одну точку.
Тепло потрапляє безпосередньо на поверхню пластини. Стінки ж залишаються відносно прохолодними. Ви все одно отримуєте швидке нагрівання, але не мусите боротися з проблемою надмірного нагрівання корпусу.
Це не є „магічним“ рішенням – потрібно правильно враховувати фізичні закони. Ми використовуємо короткохвильове інфрачервоне випромінювання, оскільки воно краще підходить для роботи в вакуумі та забезпечує точне фокусування енергії. Також ми використовуємо кварц високої чистоти, щоб уникнути проблем, пов’язаних з випаровуванням речовин у середовищі камери.
Але ось ключовий момент: точність є все. Коли така велика кількість енергії концентрується в одній точці, тепловий потік стає дуже інтенсивним. Якщо відбивач знаходиться навіть на кілька міліметрів не на своєму місці, то пластина не нагрівається – замість цього утворюється гаряча точка чи пошкоджується датчик. Крім того, все одно потрібна система охолодження, яка може поглинути залишкове тепло.
Найкраще те, що це забезпечує спокій людям, які керують обладнанням. Коли стінки більше не поглинають всю цю енергію, зовнішні панелі залишаються безпечними для дотику. Не потрібно використовувати складні зовнішні захисні елементи. Це значно спрощує процес обслуговування.
Ви можете підключити це обладнання до існуючих контролерів типу PID. Таким чином ви будете мати контроль над температурою, без постійних побоювань щодо можливого розплавлення обладнання.