Як зупинити втрати тепла: чому керамічні елементи так важливі для інфрачервоних випромінювачів
Якщо ви хочете зменшити кількість викидів вуглецю на заводі з виробництва половинчастих пристроїв, потрібно почати з контролю тепла. Це здається простим, але під час обробки пластин кожна втрачена кіловат-година є втратою грошей та енергії.
Саме тут і приходять на допомогу керамічні елементи. Уявіть собі інфрачервоні випромінювачі – коли використовуються лампи високої потужності, кінці цих трубок постійно втрачають тепло. Якщо використовувати звичайні металеві елементи, вони будуть поглинати енергію та відводити її з того місця, де вона насправді потрібна.
Ми замінили їх на кераміку високої чистоти. Кераміка не дозволяє теплу відходити назовні. Таким чином тепло залишається всередині кварцової оболонки, що сприяє кращому напрямленню випромінювання на поверхню пластини. Це робить пластину більш гарячою, а сам корпус обладнання – прохолоднішим.
Це справжній „виграш-виграш“: оскільки не потрібно боротися з втратами тепла, можна досягти потрібної температури без необхідності збільшення потужності обладнання. Це один із найпростіших способів скоротити загальні витрати на електроенергію у чистильній кімнаті.
Але все не так просто. Вибір правильної кераміки – це складне завдання. Кераміка з високим вмістом алюмінію чудово підходить для екстремальних умов, але вона крихка. Якщо під час підключення обладнання використовувати недбалі методи, можуть виникнути проблеми. Нам довелося ретельно підібрати ці елементи, щоб вони могли витримувати постійне розширення та стискання кварцової трубки. Якщо це зробити неправильно, можуть виникнути проблеми з вакуумом чи пошкодження елементів обладнання.
Крім того, є ще електричний аспект. У системах високої напруги не можна допустити, щоб елементи випромінювача контактували з заземленим корпусом. Кераміка виступає своєрідною „стіною“, яка утримує електричний струм на своєму місці.
Є ще один перевага – це сприяє досягненню цілей „зеленої фабрики“. Оскільки керамічні елементи зосереджують тепло, можна розмістити лампи ближче до об’єкта обробки, не пошкоджуючи при цьому інше обладнання. Це значно полегшує роботу систем охолодження.
Менше навантаження на насоси. Менше води, яка потрібна для охолодження. Менше енергії, яка витрачається. Усе це разом сприяє економії енергії.