http://ir-heating-tech.com/tr/tags/yedekleme/ Recent content in Yedekleme on Advanced IR Heating Technology Hugo tr Thu, 02 Jul 2026 09:11:14 +0800 http://ir-heating-tech.com/tr/posts/hot-plate-replacement-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:11:14 +0800 http://ir-heating-tech.com/tr/posts/hot-plate-replacement-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Sıcak plaka yerine kullanılacak kızılötesi ısıtıcı"></p> <p>Litografi sürecinde, “yumuşak fırınlama” ve “sert fırınlama” işlemlerini sadece “sıcaklık adımları” olarak görmemek gerekir. Bunlar, fotoresist profilinin, kritik boyutların tutarlılığının ve sonuçta da ürün verimliliğinin belirlenmesinde önemli rol oynayan faktörlerdir. 1°C’lik bir sıcaklık değişimi, aşırı ısınma veya yorgunlaşmış ısıtıcıdan kaynaklanan parçacıklar, kontrol işlemlerinden kaçarak üründe sorunlara yol açabilir. Bu riskleri ortadan kaldırmak için infraruj ısıtıcılar <a href="https://o-yate.com">tasarlad</a>ık.</p> <p><strong>Teknik açıdan önemli olanlar:</strong><br> Yakın infraruj ışık kaynaklarımız hızlı bir şekilde ısı üretir ve aktif yüzey üzerinde ±0,1°C’lik bir tutarlılıkla ısınırlar. Bu tasarım kvars içermez ve düşük gaz salınımına sahiptir; bu sayede moleküler kirlilik azalır ve parçacık oluşumu engellenir. Böylece temiz oda koşullarında parçacık sayısı Class 1–100 arasında sabit kalır. 24 saat boyunca ayar noktaları arasındaki tekrarlanabilirlik ±0,3°C’dür; böylece fotoresistin fırınlanma profili her parti için tutarlı kalır. Isıtıcı gövdesi standart sıcak plaka sistemlerine uyum sağlar ve mevcut sıcaklık geri bildirim döngüleriyle birlikte çalışır; dolayısında tesisin yeniden kalibre edilmesine gerek yoktur.</p>