Wafer aracı için sıcaklık sensörü

Fri, 17 Jul 2026 07:32:30 +0800

Enerjinizi boşa harcamayın: Neden altın yansıtıcılar kullanıyoruz?
Dürüst olalım: Wafer işleme sırasında enerji israf etmek kötü bir tasarımdır. Yüksek güçlü kızılötesi lambalar kullanıldığında, bu ısıların büyük bir kısmı aslında substrata ulaşmaz. Isı ya yanlara dağılır ya da geriye doğru seker ve böylece ürün yerine tesis içindeki havayı ısıtır. İşte burada altın devreye girer.
Altın kaplama kullanmamızın nedeni, kızılötesi enerjileri yansıtmada en iyi performansı göstermesidir. Altın, adeta bir ayna gibi davranarak neredeyse her vat enerjiyi doğrudan waferin üzerine yönlendirir.
Buradaki anahtar nokta, enerjinin yönüdür.
Standart kuvars lambaları ısıyı her yöne yayarken, altın yansıtıcılar sayesinde durum değişir. Altın, kızılötesi enerjinin %98’inden fazlasını yansıttığı için daha yoğun bir ısı alanı elde edilir.
En iyi yanı ise, elektrik panelden daha fazla güç almanıza gerek kalmadan wafer üzerinde çok daha yüksek bir ısı yoğunluğu elde edebilmenizdir. Sadece daha fazla enerji kullanmak yerine, mevcut enerjiyi doğru yöne yönlendirmiş olursunuz.
Dikkat edilmesi gereken birkaç nokta var.
Bu cihazlar zorlu koşullara dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Altın katmanı incedir, ancak sıkı bir şekilde bağlandığı için aşırı ısı durumlarında soyulma veya dökülme yapmaz. Böylece ısınma süreleri çok daha hızlı azalır.
Ancak dikkat etmeniz gereken bir nokta daha var: Enerji iletimi oldukça yoğun olduğundan dikkatli olmalısınız. Eğer PID döngünüz biraz yavaşsa, hedef sıcaklığın üzerine çıkabilirsiniz. Sensörlerinizi daha hassas bir şekilde kalibre etmeniz gerekecektir. Ayrıca, soğutma sistemlerini kontrol etmeden bunları düşük performanslı cihazlara takmayın. Çünkü cihazlar çok ısınır… Gerçekten çok ısınır.
Bu cihazların size sağladığı avantajlar neler?
Altın yansıtıcılar kullandığınızda, hedef sıcaklığa ulaşmak için daha az lambaya ihtiyaç duyarsınız. Bu da cihazın boyutlarının küçülmesini sağlar. Ayrıca, odayı soğutmak için HVAC sisteminin de o kadar çok çalışmasına gerek kalmaz.
Bunları mevcut cihazların yerine kullanarak, işlem sürelerinizi kısaltabilirsiniz. Tüm wafer üzerinde daha stabil bir ısı dağılımı elde edersiniz ve bunu daha az elektrik kullanarak yaparsınız. Bu oldukça mantıklıdır.

Yüksek hassasiyetli sıcaklık ısıtıcısı

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

Üretim katında, fotoresist pişirme sırasında 0,5°C’lik bir sapma, kritik boyutları tolerans dışına itmek ve tüm bir partiyi hurda yapmak için yeterlidir. Sözlere ihtiyaç yok. Her vardiya sabit kalan bir termal platforma ihtiyacınız var.

Kaputun altında önemli olanlar

Isıtıcıyı kısa dalga kızılötesi verici ve kuvars stabilizasyonlu termal çekirdek etrafında tasarladık. Set noktaya hızlıca ulaşır ve wafer seviyesinde ±0,1°C içinde uniformiteyi korur. Paket Class 1–100 temiz oda uyumludur ve partikül oluşumunu sıfırda tutar.
Kontrol döngüsü, 7/24 çalışma koşullarında bile set noktası tekrarlanabilirliğini %0,05’in altında tutar. Bu, soft bake, hard bake ve post-exposure bake işlemlerinde aşım veya termal gecikme olmadan güvenilir bir termal bütçe sağlar.

Sıcaklık on Advanced IR Heating Technology

Wafer aracı için sıcaklık sensörü

Yüksek hassasiyetli sıcaklık ısıtıcısı

Kaputun altında önemli olanlar