
Cam yağmurlarını durdurun: Wafer kurutma işlemindeki tüp patlamalarıyla başa çıkma
Eğer yüksek kapasiteli bir yarı iletken üretim hattı işletiyorsanız, bu korkunç durumu biliyorsunuzdur. Kızılötesi lambalar patlayabilir. Bu sadece makinenin durması anlamına gelmez; aynı zamanda büyük bir karmaşa da ortaya çıkar. Kuvars tüpü patladığında, cam parçaları ve halojen kalıntıları doğrudan waflerinizin üzerine düşer. Bir kez patlama olursa, tüm parti boşa gider. Bu gerçekten bir felakettir.
Bu sorunu çözmek için güvenlik yansıtıcı sistemleri kullanıyoruz.
Koruma yöntemi
Çoğu kişi yansıtıcıların sadece kızılötesi ışınları tekrar waflere doğru yansıtmak için kullanıldığını sanır. Elbette öyle de yapıyorlar. Ancak biz onları fiziksel bir koruma aracı olarak da kullanıyoruz. Lambanın etrafını sıkıca kaplayarak bir koruma alanı oluşturuyoruz. Eğer tüp çatlar veya patlarsa, parçalar kutunun içinde kalır. Böylece wafler zarar görmez. Basit bir çözüm, ancak waflerizi korur.
Isı, malzemeler ve “bükülme” faktörü
Yüksek güçlü lambalar inanılmaz derecede ısınır. Eğer yansıtıcı malzemesi bu ısıya dayanamazsa bükülür. Büküldüğünde odak noktası değişir ve waflerde sıcak noktalar oluşur. Bu hiç de iyi bir durum değildir.
İhtiyacınız olan dalga boyuna bağlı olarak yüksek saflıkta alüminyum veya altın kaplamalı alaşımlar kullanıyoruz. Bu malzemeler, yoğun termal değişimlerde bile şekillerini korurlar.
Bir ipucu: Soğutma üfleyicilerinizi kontrol edin. Eğer hava dolaşımı yoksa, lambalar daha hızlı hasar görür.
Atölyede nasıl kullanılır?
Bunu yerine geçebilecek bir çözüm olarak tasarladık. Tüm optik yolunu yeniden ayarlamaya gerek kalmadan lambayı değiştirebilirsiniz. Çok basit. Ayrıca sürtünmeye dayalı bağlantıları da terk ettik. Bunun yerine sağlam mekanik klipsler kullanıyoruz. Sürtünme, özellikle titreşimler nedeniyle kuvars uçlarına büyük bir yük bindirir ve bu da erken arızalara yol açar.
Kutunun makinede biraz daha fazla yer kaplaması gerekiyor mu? Evet, öyle. Ancak üretim hattınızdaki cam parçalarını bir daha temizlemek zorunda kalmamak için bu küçük bir bedeldir.