Üretim alanında, foto dirençlerin kurutulması veya wafer’ların kurutulması sırasındaki sıcaklık değişiklikleri sadece bir performans sorunu değildir; bu durum üretimi tamamen bozabilir. Eski tip lambalar belirlenen sıcaklıkları korumaya çalışır; ancak ortam koşulları değiştikçe filmde stres oluşur ve kusurlar meydana gelir.
Teknik açıdan önemli olanlar
Kontrol edilen atmosferde çalışan lambalarımız, kısa dalga boylu halojen/kvarts elemanlara sahiptir ve kapalı döngülü termal kontrol sistemi sayesinde waferlerin sıcaklığı ±0,1°C aralığında sabit tutulur. Odanın temizliği Class 1–100 standartlarına uygun şekilde sağlanır ve lamba kendisi hiçbir parçacık üretmez. Çıkış gücünün tekrarlanabilirliği 5.000 saatten fazla süre boyunca %5’in altında bir değişim gösterir; böylece hem yumuşak hem de sert kurutma işlemleri her seferinde tutarlı kalır.
Bu sistemlerin litografi alanındaki avantajları şunlardır: Lambalar, hem yumuşak hem de sert kurutma işlemleri için hassas sıcaklık kontrolü sağlar; bu da kenarlarda oluşan problemleri ve arta kalan çözücülerin sorunlarını azaltır. Waferlerin temizlenmesi ve kurutulmasında ise hızlı ve Kontrollü ısıtma sağlar; böylece termal aşırılıklar engellenir. Paketleme işlemlerinde ise, kaplamaların deforme olmaması için gerekli olan istikrarlı ısıyı sağlar.
Bunun sonucunda daha az yeniden işleme gerekiyor, CD kalitesi sabit kalıyor ve üretim hızı garanti altına alınıyor.
Birkaç pratik ipucu
Bu lambalar yeni ekipmanlara ve mevcut ekipmanlara takılabilir; ancak atmosfer arayüzünün gaz panelleri ve egzoz sistemleriyle uyumlu olması gerekir. Temiz oda standartlarına uygun elektrik tesisatı planlanmalı ve ekipmanın termal kapasitesinin yükselme hızını karşılayabileceğinden emin olunmalıdır. Lambaların kullanım ömrü oldukça uzundur; ancak çıkış gücünün periyodik olarak yeniden ayarlanması gerekmektedir. Böylece tekrarlanabilirlik korunmuş olur.