เลิกใช้เตาอบสำหรับการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ได้แล้ว!
หากคุณเคยทำงานด้านการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์มาก่อน คุณก็คงจะรู้ดีถึงความยากลำบากในการทำให้แผ่นวัสดุมีอุณหภูมิสูงขึ้น โดยที่ไม่อยากให้ตัวเครื่องทั้งหมดกลายเป็นเตาอบไปด้วย
หลอดไอน้ำอินฟราเรดแบบธรรมดานั้นให้ความร้อนออกมาอย่างไม่เป็นระเบียบ ความร้อนเหล่านั้นกระเด็นไปทั่ว และมีพลังงานจำนวนมากที่กระเด็นมาชนกับผนังด้านใน ในไม่ช้า ตัวเครื่องก็จะร้อนจนอาจทำให้คนที่ทำงานอยู่ได้รับบาดเจ็บได้ นอกจากนี้ ยังมีปัญหาเรื่องโครงสร้างของเครื่องที่อาจบิดเบี้ยวเพราะความร้อนอีกด้วย มันเป็นเรื่องที่น่าปวดหัวจริงๆ
เคล็ดลับก็คือการทำให้ความร้อนไปถึงจุดที่ต้องการจริงๆ
แทนที่จะใช้แค่ท่อควอตซ์ธรรมดา ๆ เราใช้หลอดอินฟราเรดแบบมีการกำหนดทิศทางการแผ่รังสี ลองนึกภาพว่าเป็นการเปลี่ยนจากหลอดไฟธรรมดามาเป็นไฟฉายแทน ด้วยการใช้ตัวสะท้อนและตัวกำเนิดรังสีที่มีประสิทธิภาพ เราสามารถทำให้พลังงานอินฟราเรดกระจุกตัวอยู่ในจุดเดียวได้
ความร้อนจะไปกระทบกับแผ่นวัสดุโดยตรง ส่วนผนังด้านข้างก็ยังคงมีอุณหภูมิต่ำอยู่ คุณยังคงได้อัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่รวดเร็วเหมือนเดิม แต่คุณไม่ต้องกังวลเรื่องโครงสร้างของเครื่องที่จะร้อนเกินไปอีกต่อไป
แต่นี่ไม่ใช่วิธีที่ใช้ได้ทันที คุณต้องคำนึงถึงหลักฟิสิกส์ด้วย เราเลือกใช้หลอดอินฟราเรดแบบคลื่นสั้น เพราะมันสามารถรับมือกับสภาพสุญญากาศได้ดีกว่า และยังช่วยให้ความร้อนกระจุกตัวอยู่ในจุดเดียวได้ นอกจากนี้ เรายังใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อไม่ให้มีก๊าซที่อาจมาทำลายสภาพแวดล้อมได้
แต่สิ่งสำคัญก็คือ ความแม่นยำ เมื่อคุณรวมพลังงานมากมายไว้ในจุดเล็กๆ ความร้อนก็จะสูงมาก หากตัวสะท้อนมีความผิดเพี้ยนเพียงแค่ไม่กี่มิลลิเมตร ความร้อนก็จะไม่กระทบกับแผ่นวัสดุ แต่จะก่อให้เกิดจุดร้อนขึ้นแทน นอกจากนี้ คุณยังต้องมีระบบระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพ เพื่อรับมือกับความร้อนที่เหลืออยู่
สิ่งที่ดีที่สุดก็คือ คนที่ควบคุมเครื่องจะไม่ต้องกังวลเรื่องความร้อนอีกต่อไป เมื่อผนังไม่ต้องรับความร้อนที่สูญเปล่าอีกต่อไป แผ่นป้องกันความร้อนด้านนอกก็จะไม่จำเป็นอีกต่อไป ทำให้การบำรุงรักษาเครื่องง่ายขึ้นมาก
คุณสามารถเชื่อมต่ออุปกรณ์นี้เข้ากับตัวควบคุม PID ที่มีอยู่ได้เลย และคุณจะได้อุณหภูมิที่สม่ำเสมอ โดยไม่ต้องกังวลว่าอุปกรณ์จะละลายได้อีกต่อไป