ในกระบวนการลิโทกราฟีนั้น เราไม่สามารถมองว่าขั้นตอนการอบด้วยความร้อนแบบ “soft bake” และ “hard bake” เป็นเพียง “ขั้นตอนการปรับอุณหภูมิ” เท่านั้น แต่จริงๆ แล้วมันคือปัจจัยสำคัญที่กำหนดรูปร่างของฟอโตเรซิสต์ ความสม่ำเสมอของขนาดส่วนประกอบต่างๆ และสุดท้ายก็คือประสิทธิภาพในการผลิต การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C หรือจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป หรือเศษฝุ่นที่หลุดออกมาจากเครื่องทำความร้อนที่ใช้งานมานาน ก็อาจส่งผลให้เกิดปัญหาต่างๆ เช่น คราบสกปรก หรือความผิดปกติในความกว้างของเส้นต่างๆ ซึ่งอาจไม่ถูกตรวจพบได้ เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดขึ้นมาเพื่อควบคุมความเสี่ยงเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดของเราสามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว โดยมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C ทั่วพื้นผิวของวงจร ซึ่งวัดได้ภายใต้สภาวะความร้อนที่เทียบเท่ากับการผลิตจริง นอกจากนี้ การออกแบบนี้ยังไม่มีส่วนประกอบของควอตซ์ และมีการปล่อยก๊าซน้อยมาก ดังนั้นจึงไม่มีสิ่งสกปรกในระดับโมเลกุล และไม่มีเศษฝุ่นหลุดออกมา ซึ่งช่วยให้จำนวนฝุ่นในห้องผลิตอยู่ในระดับ Class 1–100 ความแม่นยำของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.3°C ตลอด 24 ชั่วโมง ดังนั้นรูปร่างของฟอโตเรซิสต์จึงมีความสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ ตัวเครื่องทำความร้อนสามารถติดตั้งได้กับอุปกรณ์ทำความร้อนมาตรฐาน และสามารถทำงานร่วมกับระบบควบคุมอุณหภูมิที่มีอยู่ได้โดยไม่จำเป็นต้องปรับแต่งอุปกรณ์เพิ่มเติม
เหตุผลที่เครื่องทำความร้อนนี้สามารถใช้งานได้จริงในกระบวนการผลิต ในขั้นตอนการอบด้วยความร้อนแบบ “soft bake” จะช่วยให้การกำจัดตัวทำละลายเป็นไปอย่างมีประสิทธิภาพ และลดความเครียดที่เกิดขึ้นบนวงจร ส่วนในขั้นตอนการอบด้วยความร้อนแบบ “hard bake” ก็ช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในระดับที่เหมาะสม ซึ่งช่วยลดข้อบกพร่องที่เกิดจากการหลอมละลาย และช่วยให้การกัดและการฝังส่วนประกอบต่างๆ เป็นไปอย่างมีประสิทธิภาพ การตอบสนองทางอุณหภูมิที่รวดเร็วช่วยลดเวลาในการผลิต และการออกแบบที่มีน้ำหนักน้อยช่วยลดการใช้พลังงานในช่วงการเริ่มต้นการทำงานและขณะที่เครื่องหยุดทำงาน สิ่งที่ได้รับคือกระบวนการผลิตที่มีความเสถียร ลดจำนวนผลิตภัณฑ์ที่ต้องทำใหม่ และช่วยให้สามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้
สิ่งที่ควรระวัง เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดมีข้อกำหนดเฉพาะเกี่ยวกับการจัดตำแหน่งและความแตกต่างของค่าการแผ่รังสีในแต่ละชั้นของวงจร ในระหว่างการติดตั้ง จำเป็นต้องปรับแต่งตำแหน่งของเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิ และตรวจสอบให้แน่ใจว่าช่องอินฟราเรดสะอาด มิฉะนั้นค่าอุณหภูมิอาจเปลี่ยนแปลงได้ ควรมีการปรับแต่งค่าอุณหภูมิใหม่หลังจากการเปลี่ยนเครื่องทำความร้อน โดยใช้เวเฟอร์ที่มีเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิที่ได้รับการปรับแต่งแล้ว