На линии 300 мм недопустимы ошибки при проведении мягкого обжига. Смещение профиля всего на 2°C может сдвинуть контроль критического размера (CD) на...

На литографическом этаже все понятно. Температурный скачок всего на пару градусов достаточно, чтобы нарушить критические размеры и превратить...