Кварцевый галогенный инфракрасный излучатель

Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800

На линии 300 мм недопустимы ошибки при проведении мягкого обжига. Смещение профиля всего на 2°C может сдвинуть контроль критического размера (CD) на нанометры. Такой запас быстро исчезает, если тепловой источник не может удерживать ±0,1°C по всему ваферу или если генерация частиц вызывает внеплановое техническое обслуживание. Кварцевые галогеновые инфракрасные излучатели созданы для работы в таких условиях, где допустимы только стабильность работы и повторяемость.

Технически ключевым параметром является подача энергии. Кварцевые галогеновые излучатели излучают коротковолновое инфракрасное излучение с быстрым откликом и точным управлением спектром, что обеспечивает быструю стабилизацию поверхности вафера. Кварцевый баллон выдерживает высокие температуры и при этом не создает проблем в чистой комнате, а галогеновый цикл поддерживает стабильность выходной мощности в течение тысяч часов. На практике это означает равномерность температуры вафера в пределах ±0,1°C во время обжига фоторезиста и отсутствие генерации частиц, которые могли бы нарушить параметры Class 1–100.

Галоген on Advanced IR Heating Technology

Кварцевый галогенный инфракрасный излучатель