Лампа инфракрасного обогревателя с быстрой реакцией

Wed, 24 Jun 2026 04:19:57 +0800

На производственной площадке все происходит так: даже небольшое изменение температуры в полградуса может привести к смещению критических параметров процесса. Если же процесс придется отложить, то результатом будет несоответствие требуемым стандартам. Тепловая реакция — это не просто «желательная особенность», а строгий требование.

Мы разработали инфракрасные нагреватели с быстрой реакцией, способные обеспечивать постоянную температуру в условиях, когда у пластины, фоторезиста и всего остального нет времени на ожидание. Суть таких нагревателей заключается в использовании коротковолнового инфракрасного излучателя: галогенная лампа в кварцевом корпусе, настроенная на быстрый повышение температуры. Она достигает состояния равновесия за секунды, а не минуты, что позволяет поддерживать температуру в пределах допусков. Равномерность температуры на поверхности пластины составляет ±0,1°C, а мощность нагревателя остается стабильной в течение более 5000 часов с перепадом менее 5%. Конструкция нагревателя такова, что не возникают частицы, которые могли бы нарушить стерильность среды класса 1–100.

Быстро on Advanced IR Heating Technology

Лампа инфракрасного обогревателя с быстрой реакцией