Прекратите использовать обычные лампы для нагрева вакуумной камеры
Если вы занимаетесь обработкой полупроводников, вы знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Необходимо нагреть пластину, но в то же время не нужно превращать всю вакуумную камеру в печь.
Обычные инфракрасные лампы создают много лишнего тепла. Большая часть энергии отражается от пластины и попадает на внутренние стены камеры. Вскоре корпус камеры становится настолько горячим, что можно обжечься. К тому же возникает проблема деформации корпуса из-за высоких температур. Это серьезная проблема.
Секрет заключается в том, чтобы направить тепло именно туда, куда нужно.
Вместо использования обычных кварцевых трубок мы используем направленные инфракрасные лампы. Это похоже на переход от обычной лампочки к фонарику. С помощью специальных отражателей и излучателей мы сосредотачиваем инфракрасную энергию в узком луче. Тепло попадает непосредственно на поверхность пластины. Стены же остаются относительно прохладными. Вы сохраняете скорость нагрева, но не сталкиваетесь с проблемами перегрева корпуса.
Это не какой-то „волшебный“ решение — нужно правильно учитывать физические законы. Мы используем кратковолновые инфракрасные лампы, так как они лучше справляются с условиями вакуума и сохраняют концентрацию тепла. Также мы используем высокочистый кварц, чтобы избежать проблем, связанных с выделением газов.
Но здесь есть один важный момент: точность имеет решающее значение. Когда столько энергии сосредотачивается в небольшой области, тепловой поток становится очень сильным. Если отражатель смещен хотя бы на несколько миллиметров, пластина не будет нагреваться — вместо этого возникнет горячая точка или сенсор будет поврежден. К тому же все равно требуется система охлаждения для устранения оставшегося тепла.
Самое приятное — это то, что люди, которые управляют оборудованием, могут спокойно работать. Когда стены больше не поглощают лишнюю энергию, внешние панели становятся безопасными для контакта. Не нужно использовать сложные внешние защитные устройства. Это значительно упрощает процедуру технического обслуживания.
Это устройство можно подключить к существующим контроллерам PID. Таким образом можно получить плавный рост температуры, без постоянного страха, что оборудование может перегреться.