Остановим «дождь из стекла»: как предотвратить разрыв кварцевых ламп в процессе обработки пластин
Если вы управляете производством полупроводников высокой производительности, вы знаете, что такое наихудший сценарий — разрыв инфракрасной лампы. Это значит не только останавливается работа оборудования, но и возникает большой беспорядок. Когда кварцевая трубка ломается, осколки стекла и осадки галогена попадают прямо на пластины. Один такой инцидент может привести к порче всей партии продукции. Это настоящая катастрофа.
Мы нашли способ предотвратить это с помощью системы защитных отражателей.
Метод защиты с использованием отражателей
Большинство людей считают, что отражатели служат лишь для отражения инфракрасного излучения обратно на пластины. Конечно, это так. Но мы используем их как физическую защиту. Обернув корпус лампы отражателями, мы создаем зону, где осколки остаются внутри корпуса. Так они не попадают в камеру обработки. Просто, но эффективно.
Температура, материалы и проблема деформации
Лампы высокой мощности нагреваются до очень высоких температур. Если материал отражателя не может выдержать такую температуру, он деформируется. При этом фокус света смещается, что приводит к появлению горячих точек на пластинах. Это не очень хорошо.
В зависимости от длины волны света мы используем алюминий высокой чистоты или сплавы, покрытые золотом. Они сохраняют свою форму даже при сильных температурных колебаниях.
Еще один совет: проверьте вентиляторы охлаждения. Если воздух застаивается, это приводит к перегреву ламп. Это ускоряет их повреждение.
Применение в производственных условиях
Мы разработали эту систему так, чтобы ее можно было использовать в качестве замены старых ламп. Не нужно тратить часы на правку всей оптической схемы. Все работает просто.
Мы также отказались от использования фрикционных соединений. Вместо этого мы используем надежные механические крепления. Фрикция создает большую нагрузку на кварцевые элементы, особенно при вибрациях, что приводит к их преждевременному повреждению.
Занимает ли корпус больше места в оборудовании? Да, но это небольшая цена за то, чтобы больше не приходилось удалять осколки стекла с производственной линии.