Сокращение выбросов углерода при производстве полупроводников: почему именно инфракрасное обогревание — лучший выбор
Производство полупроводников требует огромного количества тепла. Честно говоря, старый способ производства считается крайне неэффективным. Большинство заводов до сих пор используют огромные нагревательные устройства, которые нагревают всю комнату лишь для того, чтобы нагреть несколько пластин. Это похоже на ситуацию, когда нужно нагреть всё помещение только ради одной пиццы.
Мы нашли более эффективный способ. Используя инфракрасное обогревание, мы можем направлять энергию прямо на саму пластину. Это делает процесс более эффективным и быстрым. Кроме того, это помогает достичь целей компаний в области снижения выбросов углерода, превращая их из просто формальных требований в реальные действия.
Чудо инфракрасного излучения
Инфракрасное излучение не зависит от температуры окружающего воздуха. В то время как конвекционные нагреватели ждут, пока воздух нагреется, инфракрасные лампы направляют энергию прямо на поверхность пластины.
Если вы работаете с кремнием или нитридом галлия, процесс поглощения энергии происходит мгновенно. Это значит, что время нагрева значительно сокращается, а значит, потребляемое количество киловатт-часов также снижается.
Кроме того, есть ещё один плюс: поскольку всю комнату не нужно нагревать до высокой температуры, охладители не должны работать так интенсивно, чтобы вернуть температуру в норму. Это также снижает расходы на электроэнергию.
Технические аспекты
В основе работы таких устройств лежат высокочистые кварцевые корпуса и вольфрамовые нити. Все это помещается в газовую среду, что предотвращает слишком быстрое износ нитей.
Но всегда есть компромиссы. Можно добиться высокой температуры, но при этом придется чаще заменять лампы. Нужно найти правильный баланс. Обычно мы рекомендуем использовать такую мощность, которая будет соответствовать требованиям процесса, не перегружая устройства. Это помогает избежать постоянного обслуживания.
Эффективное использование в «зеленых» заводах
Самое прекрасное в инфракрасных устройствах — возможность контроля температуры в разных зонах. Можно отключать те лампы, которые не используются. Таким образом уходит необходимость постоянной работы устройств, что снижает расходы на электроэнергию.
Если добавить к этому быстрый контроллер PID, можно избежать ситуаций, когда температура слишком резко повышается. Это не только экономит энергию, но и помогает избежать повреждения пластин.
Это просто более эффективный и умный способ управления теплом.