Sensor de temperatura para ferramenta de wafer

Fri, 17 Jul 2026 07:31:41 +0800

Pare de desperdiçar energia: por que usamos refletores de ouro
Sejamos honestos: desperdiçar energia no processo de processamento dos wafer é simplesmente um mau design. Quando se utilizam lâmpadas infravermelhas de alta potência, uma grande parte do calor não atinge o substrato. Ele acaba se dissipando pelas laterais ou sendo refletido para trás, aquecendo o ar dentro da instalação, em vez do produto em si. É aí que entra o ouro.
Usamos revestimento de ouro porque ele é o melhor material para refletir energia infravermelha. Ele funciona como um espelho para o calor, direcionando quase todo o watt diretamente para o wafer.
O segredo está na direção do calor.
As lâmpadas de quartzo convencionais distribuem o calor por toda parte. Com o uso de refletores de ouro, mudamos essa situação. Como o ouro reflete mais de 98% dessa energia infravermelha, obtém-se uma área de calor concentrado.
O melhor de tudo é que se consegue uma maior densidade de calor no wafer, sem precisar usar mais energia do sistema elétrico. Não se está apenas aplicando mais energia; está-se direcionando a energia que já existe na direção correta.
Algumas coisas a ter em mente:
Esses refletores são projetados para resistir a condições extremas. A camada de ouro é fina, mas está bem fixada, então não se descasca ou se solta durante os ciclos térmicos intensos. Você notará que os tempos de aquecimento diminuem significativamente.
Mas há um detalhe importante: como a entrega de energia é tão intensa, é preciso ter cuidado. Se o circuito PID for lento demais, pode-se exceder a temperatura desejada. Será necessário calibrar os sensores com mais precisão. E, por favor, não coloque esses refletores em equipamentos de baixa qualidade sem verificar primeiro seus sistemas de resfriamento. Fica muito quente… realmente muito quente.
Qual é a vantagem disso para você?
Quando se usam refletores de ouro, não é preciso tantas lâmpadas para atingir a temperatura desejada. Isso significa que o espaço ocupado pelo equipamento diminui. Além disso, o sistema de climatização não precisa trabalhar tanto para manter a sala fresca.
Desenvolvemos esses refletores como substitutos para equipamentos existentes, para ajudar a reduzir o tempo de processamento. Assim, obtém-se um perfil térmico mais estável em todo o wafer, e isso é feito com menos energia elétrica. É simplesmente lógico.

Aquecedor de temperatura de alta precisão

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

No chão de fábrica, uma variação de 0,5°C durante o bake do fotoresiste é suficiente para desviar as dimensões críticas da especificação e inutilizar um lote inteiro. Você não precisa de promessas. Precisa de uma plataforma térmica que mantenha estabilidade, turno após turno.

O que importa internamente

Construímos o aquecedor ao redor de um emissor infravermelho de onda curta e um núcleo térmico estabilizado em quartzo. Ele atinge rapidamente o ponto de ajuste e mantém a uniformidade ao nível do wafer dentro de ±0,1°C. O conjunto é compatível com salas limpas Classe 1–100 e mantém a geração de partículas em zero.
O loop de controle mantém a repetibilidade do ponto de ajuste abaixo de 0,05%, mesmo em operação contínua 24/7. O resultado é um orçamento térmico confiável para soft bake, hard bake e post-exposure bake — sem ultrapassagem e sem atraso térmico.

Temperatura on Advanced IR Heating Technology

Sensor de temperatura para ferramenta de wafer

Aquecedor de temperatura de alta precisão

O que importa internamente