Sensor IR de precisão para wafers

Mon, 27 Jul 2026 09:45:13 +0800

Pare de desperdiçar calor nas suas pastilhas

Quando se processam pastilhas, cada watt desperdiçado representa dinheiro perdido. Pior ainda: essa energia desperdiçada geralmente causa um aquecimento irregular, o que é um grande problema para a qualidade dos produtos produzidos.

É por isso que usamos refletores de infravermelhos revestidos com ouro. O objetivo é simples: garantir que o calor atinja realmente a pastilha, em vez de se perder no chassi da máquina.

Por que ouro?

Você provavelmente está acostumado com refletores de alumínio convencionais, mas eles absorvem uma quantidade surpreendente de energia. Optamos por um revestimento de ouro porque o ouro é muito mais eficaz em refletir luzes infravermelhas.

Aquecedor de temperatura de alta precisão

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

No chão de fábrica, uma variação de 0,5°C durante o bake do fotoresiste é suficiente para desviar as dimensões críticas da especificação e inutilizar um lote inteiro. Você não precisa de promessas. Precisa de uma plataforma térmica que mantenha estabilidade, turno após turno.

O que importa internamente

Construímos o aquecedor ao redor de um emissor infravermelho de onda curta e um núcleo térmico estabilizado em quartzo. Ele atinge rapidamente o ponto de ajuste e mantém a uniformidade ao nível do wafer dentro de ±0,1°C. O conjunto é compatível com salas limpas Classe 1–100 e mantém a geração de partículas em zero.
O loop de controle mantém a repetibilidade do ponto de ajuste abaixo de 0,05%, mesmo em operação contínua 24/7. O resultado é um orçamento térmico confiável para soft bake, hard bake e post-exposure bake — sem ultrapassagem e sem atraso térmico.

Precisão on Advanced IR Heating Technology

Sensor IR de precisão para wafers

Pare de desperdiçar calor nas suas pastilhas

Por que ouro?

Aquecedor de temperatura de alta precisão

O que importa internamente