Przestańcie używać standardowych lamp IR do podgrzewania komór próżniowych! Jeśli pracujecie w obszarze przetwarzania półprzewodników, wiecie, z jakimi trudnościami się borykamy. Trzeba podgrzać płytkę, ale nie chcemy, aby cała komora próżniowa stała się piecem. Standardowe lampy IR powodują chaos – ciepło rozprzestrzenia się wszędzie. Duża ilość energii odbija się od płytki i uderza w ścianki komory. Wkrótce obudowa staje się na tyle gorąca, że można się poparzyć, a dodatkowo należy martwić się o deformację obudowy pod wpływem wysokiej temperatury. To prawdziwy problem.
Rozwiązaniem jest skierowanie ciepła dokładnie tam, gdzie jest potrzebne. Zamiast używać zwykłych rur kwarcowych, stosujemy specjalne reflektory i emitory, które umożliwiają skupienie energii IR w jednym strumieniu. Ciepło dociera bezpośrednio do podłoża, natomiast ścianki pozostają stosunkowo chłodne. Nadal możemy szybko podnieść temperaturę, ale nie musimy się martwić o przegrzewanie obudowy.
To oczywiście nie jest „magiczne” rozwiązanie – trzeba dobrze przemyśleć fizykę procesu. Stosujemy krótkofalowe lampy IR, ponieważ lepiej radzą sobie z warunkami próżni i utrzymują skupiony strumień ciepła. Dodatkowo używamy kwarcu o wysokiej czystości, aby uniknąć problemów spowodowanych uwalnianiem gazów z materiału.
Ale tu jest klucz: precyzja jest wszystkim. Gdy tak dużo energii skupiamy w małym obszarze, strumień ciepła jest intensywny. Jeśli reflektor jest nawet o kilka milimetrów nie na właściwym miejscu, to nie podgrzewamy płytki – powstaje „gorący punkt”, który może uszkodzić czujnik. Ponadto potrzebny jest system chłodzenia, który pochłonie nadmiar ciepła.
Najlepsze jest to, że ludzie zajmujący się obsługą maszyn mogą spać spokojnie. Gdy ścianki nie wchłaniają już tak dużej ilości energii, zewnętrzne panele nadal są bezpieczne do dotyku. Można więc zrezygnować z tych niepraktycznych zewnętrznych osłon termicznych. To sprawia, że konserwacja staje się o wiele prostsza.
Można to łatwo połączyć z istniejącymi kontrolerami PID, dzięki czemu uzyskujemy płynną regulację temperatury, bez ciągłego strachu, że sprzęt się roztopi.