Precisies IR sensor voor wafer

Mon, 27 Jul 2026 09:45:13 +0800

Stop met het verspillen van warmte op je waferbladen

Tijdens het verwerken van waferbladen betekent elke verspilde watt dat er geld verloren gaat. Nog erger: die verspilde energie zorgt meestal voor een oneffen verhitting, wat erg slecht is voor de kwaliteit van de producten.

Daarom gebruiken we IR-reflectoren die bedekt zijn met goud. Het doel is eenvoudig: er moet zoveel mogelijk warmte op het waferblad terechtkomen, in plaats van dat deze verloren gaat in het frame van de machine.

Hoge precisie temperatuurverwarmer

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

Op de productievloer is een drift van 0,5°C tijdens het bakken van de fotoresist al genoeg om kritische dimensies buiten specificatie te brengen en een hele batch af te keuren. U heeft geen beloften nodig. U heeft een thermisch platform nodig dat stabiel blijft, shift na shift.

Wat er onder de motorkap telt

We hebben de verwarming opgebouwd rond een kortegolf-infrarood emitter en een kwarts-gestabiliseerde thermische kern. Het bereikt snel de ingestelde temperatuur en houdt de uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C. De behuizing is Class 1–100 cleanroom-compatibel en voorkomt de vorming van deeltjes volledig.
De regelkring houdt de herhaalbaarheid van de ingestelde waarde onder 0,05%, zelfs bij 24/7 gebruik. Het resultaat is een thermisch budget waarop u kunt rekenen voor soft bake, hard bake en post-exposure bake—zonder overshoot en zonder thermische vertraging.

Precisie on Advanced IR Heating Technology

Precisies IR sensor voor wafer

Stop met het verspillen van warmte op je waferbladen

Hoge precisie temperatuurverwarmer

Wat er onder de motorkap telt