http://ir-heating-tech.com/nl/tags/lithografie/ Recent content in Lithografie on Advanced IR Heating Technology Hugo nl Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/nl/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/nl/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Verwarmingslichaam voor lithografie zachtbakken"></p> <p>Op de lithografievloer is een soft bake niet zomaar een opwarming. Het is een nauwkeurig gecontroleerde thermische stap die het oplosmiddelgehalte verankert, de hechting van de photoresist fixeert en direct invloed heeft op de lijnbreedtecontrole. Een afwijking van een halve graad kan TMU verschuiven, en een hotspot kan veranderen in een terugkerend defect over de wafer. We hebben het verwarmingselement ontworpen om die onzekerheid uit het thermische budget te halen.</p> <p>Wat telt in de praktijk is prestaties waarop je kunt vertrouwen wanneer de track op volle kracht draait. De verwarming stabiliseert snel, houdt een constante uniformiteit in steady-state over het bakoppervlak en blijft schoon in een productie cleanroom.</p>