Kwarts halogeen infraroodstraler

Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800

Op een 300mm-lijn kun je het soft bake-proces niet slordig uitvoeren. Een afwijking van slechts 2°C in het profiel kan de controle op kritische dimensies (CD) met nanometers verschuiven. Die marge verdwijnt snel als de warmtebron geen ±0,1°C kan vasthouden over het waferoppervlak — of als deeltjesgeneratie ongeplande preventieve onderhoudsbeurten afdwingt. Quartz halogeen infrarood emitters zijn ontworpen voor dit soort omstandigheden, waar uptime en reproduceerbaarheid de enige acceptabele parameters zijn.

Wat technisch gezien van belang is, is de energieafgifte. Quartz halogeen emitters geven kortgolvige infraroodstraling af met snelle reactietijden en strakke spectrale controle, zodat het waferoppervlak snel stabiliseert. Het quartz omhulsel kan hoge temperaturen verdragen en is geschikt voor gebruik in cleanrooms, terwijl de halogeencyclus over duizenden uren een stabiel vermogen garandeert. In de praktijk betekent dit een temperatuuruniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C tijdens de photoresist bake — zonder deeltjesgeneratie die je Class 1–100 specificaties zou overschrijden.

Halogeen on Advanced IR Heating Technology

Kwarts halogeen infraroodstraler