HEATER VOOR DROGEN VAN MEMS SENSORENWAFFERS

Wed, 22 Jul 2026 04:43:45 +0800

IR-verwarming versus geforceerde warme lucht: een betere manier om MEMS-wafers te drogen
Als je ooit in een MEMS-fabriek hebt gewerkt, weet je hoe het gaat. Na het natte eten of reinigen moet de vochtigheid van de wafers worden verwijderd. De meeste oude apparaten maken nog steeds gebruik van geforceerde warme lucht. Het werkt wel, maar het is langzaam.

Steeds meer ingenieurs kiezen nu voor IR-verwarming. Waarom? Omdat ze genoeg hebben van het wachten.

Het probleem met ‘wachten op de lucht’
Warme lucht is een langzaam proces. Eerst moet de lucht worden verhit, waarna de ruimte wordt opgewarmd en uiteindelijk ook de wafers. Er zijn veel tussenliggende stappen. In een grote productiefaciliteit wordt dit een groot probleem.

Grosshandelslamp voor het drogen van wafers

Thu, 18 Jun 2026 04:34:06 +0800

Op de productielijn mag er geen enkele fout worden gemaakt. Een verschil van 2% in de dikte van de fotoresist of één klein foutje kan al tot grote problemen leiden. De thermische behandeling – zowel het zachte als het harde bakken – is cruciaal voor het behalen van de gewenste resultaten. Standaardlampen leveren echter onnauwkeurigheden op: ze veroorzaken hete plekken en geven ook deeltjes af. Wat nodig is, is een controle op het niveau van de wafer, zodat de processpecificaties worden nageleefd, en niet alleen de ‘toleranties’.

Drogen on Advanced IR Heating Technology

HEATER VOOR DROGEN VAN MEMS SENSORENWAFFERS

Grosshandelslamp voor het drogen van wafers