http://ir-heating-tech.com/ms/tags/modul/ Recent content in Modul on Advanced IR Heating Technology Hugo ms Tue, 23 Jun 2026 00:28:25 +0800 http://ir-heating-tech.com/ms/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Tue, 23 Jun 2026 00:28:25 +0800 http://ir-heating-tech.com/ms/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Modul pemanasan inframerah untuk kilang pembuatan"></p> <p>Di bilik penyenggaraan peralatan tersebut, proses pembakaran bukanlah sekadar langkah pemanasan biasa. Ia merupakan faktor penting yang menentukan kejayaan proses pengeluaran. Perbezaan suhu sebanyak setengah darjah saja sudah cukup untuk merosakkan dimensi kritikal wafer dan mengganggu kawalan ketebalan lapisan pada wafer tersebut. Apa yang diperlukan ialah haba yang boleh diharapkan secara konsisten, bukan haba yang tidak dapat diramalkan.</p> <p><strong>Apa yang penting dalam reka bentuk peralatan ini</strong><br> Kami menggunakan modul pemanasan inframerah yang mampu mengekalkan keseragaman suhu pada wafer pada tahap ±0.1°C. Sumber cahaya inframerah yang digunakan mempunyai respons cepat, sesuai dengan cara fotoresist menyerap cahaya. Reka bentuknya bebas daripada bahan kuarsa, dan ia dioptimumkan untuk berfungsi dalam bilik bersih kelas 1–100, tanpa menambah partikel buruk ke dalam sistem. Zon pemanasan direka sedemikian rupa agar gas dan kotoran tidak masuk ke dalam ruang proses.</p>