Penderia IR yang tepat untuk wafer

Mon, 27 Jul 2026 09:45:13 +0800

Hentikan pembaziran haba pada wafer anda

Ketika memproses wafer, setiap watt tenaga yang terbuang merupakan wang yang sia-sia sahaja. Lebih buruk lagi, tenaga yang terbuang ini akan menyebabkan pemanasan yang tidak sekata, yang tentunya akan merosakkan kualiti wafer tersebut.

Itulah sebabnya kami menggunakan reflektor berlapis emas. Tujuannya sangat mudah: memastikan haba benar-benar sampai ke wafer, bukannya tertumpu di bahagian badan mesin.

Mengapa emas?

Anda mungkin sudah biasa dengan reflektor aluminium biasa, tetapi reflektor tersebut menyerap sejumlah besar tenaga. Kami menggunakan lapisan emas kerana emas lebih efektif dalam memantulkan cahaya inframerah.

Pemanas suhu ketepatan tinggi

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

Pada lantai pembuatan, pergeseran 0.5°C semasa proses pemanggangan photoresist sudah cukup untuk menolak dimensi kritikal keluar dari spesifikasi dan membuang seluruh lot. Anda tidak memerlukan janji. Anda memerlukan platform terma yang stabil, bertukar syif demi syif.

Apa yang penting di dalam sistem

Kami membina pemanas di sekitar pemancar inframerah gelombang pendek dan teras terma yang distabilkan dengan kuarza. Ia mencapai suhu sasaran dengan cepat dan mengekalkan keseragaman pada tahap wafer dalam ±0.1°C. Pakej ini sesuai untuk bilik bersih Kelas 1–100 dan memastikan tiada penghasilan zarah.
Gelung kawalan mengekalkan kebolehulangan suhu sasaran di bawah 0.05% walaupun beroperasi 24/7. Keputusan adalah anggaran terma yang boleh dipercayai untuk soft bake, hard bake, dan post-exposure bake—tiada lebihan suhu, tiada kelewatan terma.

Ketepatan on Advanced IR Heating Technology

Penderia IR yang tepat untuk wafer

Hentikan pembaziran haba pada wafer anda

Mengapa emas?

Pemanas suhu ketepatan tinggi

Apa yang penting di dalam sistem