Pemancar inframerah halogen kuarza

Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800

Pada garis 300mm, anda tidak boleh sambil lewa dengan proses soft bake. Perpindahan hanya 2°C dalam profil boleh menggerakkan kawalan dimensi kritikal (CD) sebanyak nanometer. Margin itu hilang dengan pantas jika sumber haba tidak dapat mengekalkan ±0.1°C merentasi wafer—atau jika janaan zarah memaksa penyelenggaraan pencegahan yang tidak dijadualkan. Pemancar inframerah kuarza halogen dibina untuk persekitaran seperti ini, di mana masa operasi dan kebolehulangan adalah satu-satunya tetapan yang boleh diterima.

Apa yang penting, dari segi teknikal, adalah penyampaian tenaga. Pemancar kuarza halogen mengeluarkan inframerah gelombang pendek dengan tindak balas pantas dan kawalan spektrum yang ketat, supaya permukaan wafer menjadi stabil dengan cepat. Selongsong kuarza mampu menahan suhu tinggi dan masih sesuai digunakan di bilik bersih, manakala kitaran halogen memastikan output kekal stabil selama beribu jam. Dalam amalan, ini bermakna keseragaman suhu pada tahap wafer dalam lingkungan ±0.1°C semasa pemadaman photoresist—dan tiada janaan zarah yang boleh menggugat spesifikasi Kelas 1–100 anda.

Halogen on Advanced IR Heating Technology

Pemancar inframerah halogen kuarza