http://ir-heating-tech.com/ko/tags/%ED%98%84%EB%AF%B8%EA%B2%BD/ Recent content in 현미경) on Advanced IR Heating Technology Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 03:46:01 +0800 http://ir-heating-tech.com/ko/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ Thu, 04 Jun 2026 03:46:01 +0800 http://ir-heating-tech.com/ko/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="AFM(원자력 현미경) 히터"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>공장 현장에서 AFM 계측은 열 변위로 인해 해상도가 손실되면 제대로 작동하지 않습니다. 0.5°C의 온도 변화만으로도 프로브 보정이 틀어질 수 있으며, 포토레지스트 베이크 이력은 치수 균일성에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. 우리는 웨이퍼 수준의 온도를 엄격하게 관리하기 위해 AFM 히터를 설계했으며, 이를 통해 스캔과 베이크 과정이 교대 근무마다 규격 내에서 유지되도록 합니다.</p>