http://ir-heating-tech.com/ko/tags/%ED%95%A0%EB%A1%9C%EA%B2%90/ Recent content in 할로겐 on Advanced IR Heating Technology Hugo ko Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800 http://ir-heating-tech.com/ko/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800 http://ir-heating-tech.com/ko/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="쿼츠 할로겐 적외선 방출기"></p> <p>300mm 라인에서는 소프트 베이크에서 대충 넘어갈 수 없다. 프로파일의 2°C 차이만으로도 치수공정 제어(CD)가 나노미터 단위로 이동할 수 있다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 ±0.1°C를 유지하지 못하는 열원이나, 입자 발생으로 인해 계획에 없던 예방 유지보수가 필요하면 그 여유는 빠르게 사라진다. 쿼츠 할로겐 적외선 방출기는 이러한 환경에서 가동 시간과 반복성이 유일한 허용 조건인 상황에 맞게 설계되었다.</p>