웨이퍼 공정용 온도 센서

Fri, 17 Jul 2026 07:32:33 +0800

에너지 낭비를 그만하세요: 왜 골드 반사체를 사용하는가?
솔직히 말해서, 웨이퍼 가공 과정에서 에너지를 낭비하는 것은 형편없는 설계입니다. 고출력 적외선 램프를 사용할 때, 그 열의 상당 부분이 실제로 웨이퍼에 도달하지 못합니다. 그 열은 주변으로 흩어지거나 반사되어, 제품이 아닌 공장 내의 공기를 따뜻하게 만듭니다. 바로 여기서 골드가 유용해집니다.
우리는 적외선 에너지를 반사하는 데 가장 효과적인 골드 코팅을 사용합니다. 골드는 마치 거울과 같아서, 거의 모든 에너지를 웨이퍼 위로 직접 보냅니다.
핵심은 방향성입니다.
일반적인 석영 램프는 열을 사방으로 방출합니다. 하지만 골드 반사체를 사용하면 상황이 달라집니다. 골드는 적외선 에너지의 98% 이상을 반사하기 때문에, 열이 집중됩니다.
가장 좋은 점은, 전력 공급량을 늘릴 필요 없이도 웨이퍼에 더 높은 열 밀도를 얻을 수 있다는 것입니다. 즉, 더 많은 에너지를 사용하는 대신, 기존의 에너지를 올바른 방향으로 전달할 뿐입니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
이러한 장치들은 엄격한 환경 조건에서도 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 골드 코팅은 얇지만, 단단하게 부착되어 있어서 극심한 열 변화 속에서도 벗겨지거나 손상되지 않습니다. 그 결과, 웨이퍼 가열 시간이 훨씬 줄어듭니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 에너지 전달이 너무 강력하기 때문에, PID 제어 시스템이 제대로 작동하지 않으면 목표 온도를 초과할 수 있습니다. 따라서 센서를 정확하게 조정해야 합니다. 또한, 냉각 시스템을 확인하지 않고 이러한 장치를 저사양 장비에 그냥 사용해서는 안 됩니다. 열이 너무 많이 발생합니다. 정말로 뜨거워집니다.
이 장치가 가져다주는 혜택
골드 반사체를 사용하면 목표 온도에 도달하기 위해 필요한 램프의 수가 줄어듭니다. 그 결과, 장비의 크기도 줄어듭니다. 게다가, HVAC 시스템도 방을 시원하게 유지하기 위해 그렇게 많은 노력을 기울일 필요가 없습니다.
우리는 기존 장비를 대체할 수 있는 형태로 이러한 장치들을 설계했습니다. 이를 통해 웨이퍼 전체에 더 안정적인 온도 분포를 얻을 수 있으며, 전력 소비도 줄어듭니다. 당연한 결과죠.

고정밀 온도 히터

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

On the fab floor, a 0.5°C drift during the photoresist bake is all it takes to push critical dimensions out of spec and scrap an entire lot. You don’t need promises. You need a thermal platform that holds steady, shift after shift.

What matters under the hood

We built the heater around a short-wave infrared emitter and a quartz-stabilized thermal core. It gets to setpoint fast and keeps wafer-level uniformity within ±0.1°C. The package is Class 1–100 cleanroom-compatible and keeps particle generation at zero. The control loop holds setpoint repeatability under 0.05% even when you’re running 24/7. The payoff is a thermal budget you can count on for soft bake, hard bake, and post-exposure bake—no overshoot, no thermal lag.

온도 on Advanced IR Heating Technology

웨이퍼 공정용 온도 센서

고정밀 온도 히터

What matters under the hood