http://ir-heating-tech.com/ko/tags/%EB%B2%A0%EC%9D%B4%ED%82%B9/ Recent content in 베이킹 on Advanced IR Heating Technology Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 04:00:02 +0800 http://ir-heating-tech.com/ko/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:00:02 +0800 http://ir-heating-tech.com/ko/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="E빔 레지스트 구움 히터"></p> <p>리소그래피 라인에서 e-빔 레지스트 베이크 온도 편차가 0.3°C라면 이를 “작은 편차”로 볼 수 없습니다. 이는 선폭 편차를 야기하여 좋은 웨이퍼를 불량품으로 바꾸는 수준입니다. 중요층의 생사 여부가 포토레지스트의 열적 예산에 달려 있을 때, 변동성에 대한 여지는 없습니다. 베이크 공정은 결과를 결정짓는 단계로, 도즈, 콘트라스트, 패턴 완성도 모두 이에 달려 있습니다. 히터가 엄격한 균일성과 반복성을 유지하지 못한다면 스캐너와 레지스트가 제대로 작동하지 못하게 됩니다.</p>