http://ir-heating-tech.com/ko/tags/%EB%9C%A8%EA%B1%B0%EC%9B%80/ Recent content in 뜨거움 on Advanced IR Heating Technology Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 09:11:14 +0800 http://ir-heating-tech.com/ko/posts/hot-plate-replacement-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:11:14 +0800 http://ir-heating-tech.com/ko/posts/hot-plate-replacement-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="핫플레이트 대용 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’를 단순한 ‘온도 조절 단계’로 간주해서는 안 됩니다. 이들은 포토레지스트의 특성, 치수의 균일성, 그리고 결국은 생산 효율을 결정하는 중요한 요소입니다. 1°C의 온도 변동이나 과열된 부분, 혹은 손상된 히터에서 발생하는 입자들은 검사를 통과하지 못하고 문제를 야기할 수 있습니다. 저희는 엄격한 온도 제어를 통해 이러한 위험을 줄이기 위해 적외선 히터를 개발했습니다.</p>