http://ir-heating-tech.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Advanced IR Heating Technology Hugo ja Wed, 22 Jul 2026 04:43:44 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 22 Jul 2026 04:43:44 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <h1 id="赤外線加熱と強制送風の比較memsウエハを乾燥させるためのより優れた方法">赤外線加熱と強制送風の比較：MEMSウエハを乾燥させるためのより優れた方法</h1> <p>もしMEMS製造ラインで働いたことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。ウェットエッチングや洗浄の後は、ウエハ上の水分を取り除かなければなりません。現在でも、多くの古いラインでは依然として強制送風方式が使われています。確かに効果的ですが、速度が遅いのが<a href="https://o-yate.com">欠点</a>です。</p>