http://ir-heating-tech.com/ja/tags/%E4%B9%BE%E7%87%A5/ Recent content in 乾燥 on Advanced IR Heating Technology Hugo ja Wed, 22 Jul 2026 04:43:44 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 22 Jul 2026 04:43:44 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <h1 id="赤外線加熱と強制送風の比較memsウエハを乾燥させるためのより優れた方法">赤外線加熱と強制送風の比較：MEMSウエハを乾燥させるためのより優れた方法</h1> <p>もしMEMS製造ラインで働いたことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。ウェットエッチングや洗浄の後は、ウエハ上の水分を取り除かなければなりません。現在でも、多くの古いラインでは依然として強制送風方式が使われています。確かに効果的ですが、速度が遅いのが<a href="https://o-yate.com">欠点</a>です。</p> http://ir-heating-tech.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Sat, 11 Jul 2026 09:12:05 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="工場乾燥工程のエネルギー診断"></p> <p>状況が不安定になったときでも、ファブの設備を安全に保つ方法<br> 正直に言って、半導体ファブ内の乾燥工程というのは、とても危険な場所です。化学薬品が飛び交っており、それによって空気が可燃性になったり、最悪の場合は爆発することもあります。もし普通の赤外線ランプをその環境に使ったら、それはまさに問題を招く行為です。</p> http://ir-heating-tech.com/ja/posts/wholesale-wafer-drying-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:34:06 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/wholesale-wafer-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="卸売用ウェハ乾燥ランプ"></p> <p>製造現場では、少しのずれも許されません。フォトレジストの厚みが2％変動したり、微小な欠陥があっただけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。熱処理の段階で、パフォーマンスが決まります。標準的なランプでは、温度分布が不均一になったり、ホットスポットが生じたり、粒子が発生したりします。必要なのは、ウェーハレベルでの厳密な制御であり、「許容範囲」ではなく、仕様通りに制御することです。</p>