http://ir-heating-tech.com/ja/tags/%E3%83%99%E3%83%BC%E3%82%AD%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in ベーキング on Advanced IR Heating Technology Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 04:00:02 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Sun, 07 Jun 2026 04:00:02 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Eビームレジストベーキングヒーター"></p> <p>リソグラフィフロアでは、eビームレジストのベーク温度が0.3°Cずれることは「小さな誤差」ではありません。これはライン幅の逸脱を引き起こし、良品ウェーハをスクラップに変えます。クリティカルレイヤーがレジストの熱予算に生死を握られている場合、変動の余地はありません。ベーク工程は全体の基調を設定し、投与量、コントラスト、パターンの整合性はすべてこれに依存します。ヒーターが厳密な均一性と再現性を維持できなければ、スキャナとレジストの両方で負荷の高い調整が強いられます。</p>