センサー on Advanced IR Heating Technology

ウェハ用精密IRセンサー

Mon, 27 Jul 2026 09:45:13 +0800

ウェーハの熱を無駄にしないでください。
ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄になると、それは単純に無駄なコストになります。さらに悪いことに、その無駄なエネルギーが原因で均一でない加熱が起こり、結果として歩留まりが低下します。

スマートセンサーパッケージング赤外線

Mon, 27 Jul 2026 08:56:05 +0800

もう推測する必要はありません。ファブ内で正確なデータを取得しましょう。
スマートファブを構築する際、単にヒーターを設置しているだけだと思いがちです。しかし実際には、データ収集用の装置を設置しているのです。
従来の加熱装置は、基本的には何もわかりません。エネルギーを基板に送り込むだけで、その熱がどのように吸収されているかは全く分かりません。だからこそ、センサーが内蔵された赤外線システムを採用しているのです。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Wed, 22 Jul 2026 04:43:44 +0800

赤外線加熱と強制送風の比較：MEMSウエハを乾燥させるためのより優れた方法

もしMEMS製造ラインで働いたことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。ウェットエッチングや洗浄の後は、ウエハ上の水分を取り除かなければなりません。現在でも、多くの古いラインでは依然として強制送風方式が使われています。確かに効果的ですが、速度が遅いのが欠点です。

ウェーハ処理装置用温度センサー

Fri, 17 Jul 2026 07:31:59 +0800

無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜゴールド反射板を使うのか
正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単純に悪い設計です。高出力の赤外線ランプを使っていると、その熱の多くが実際には基板に当たりません。熱は側面に逃げたり、後方に反射したりして、製品ではなく施設内の空気を温めてしまいます。ここで役立つのがゴールドです。
私たちがゴールドコーティングを使用するのは、赤外線エネルギーを反射する能力が最も優れているからです。まるで鏡のように、ほぼすべてのエネルギーをウェーハに直接的に伝えるのです。
重要なのは方向性です。
通常の石英ランプでは熱があちこちに散らばりますが、ゴールド反射板を使えば状況が変わります。ゴールドは98％以上の赤外線エネルギーを反射するため、集中した熱が得られます。
最良な点は、電力を増やさずともウェーハ上の熱密度を大幅に高められることです。つまり、より多くのエネルギーを無駄に投じるのではなく、既存のエネルギーを適切な方向に送るだけです。
注意すべき点もあります。
これらは厳しい環境下でも機能するように設計されています。ゴールド層は薄いですが、しっかりと固定されているため、過酷な温度変化の中でも剥がれたりしません。その結果、温度上昇の時間が大幅に短縮されます。
しかし、エネルギーの供給が強力すぎるため、注意が必要です。もしPID制御が遅かった場合、目標温度を超えてしまう可能性があります。そのため、センサーの調整が必要です。また、冷却システムを確認せずに安価な装置にこれらを使うのは避けてください。とても高温になります。本当に高温です。
実際の効果としては、
ゴールド反射板を使用すれば、目標温度に到達するために必要なランプの数が減ります。つまり、装置のサイズが小さくなります。また、室温を維持するためにHVACシステムが頑張る必要もありません。
私たちは、既存の装置に代わって使えるようにこれらを設計しました。そうすることで、処理時間を短縮できます。ウェーハ全体にわたってより安定した温度分布が得られ、しかも電力の消費も少なくて済みます。理にかなっています。

水素センサー製造用ヒーター

Fri, 10 Jul 2026 12:33:21 +0800

なぜ水素センサーにはIR硬化法が使われるのか？水素センサーを作る際には、熱をうまくコントロールする必要があります。導電性接着剤やポリマーの設定を適切に行う必要がありますが、力を入れすぎるとセンシング要素が壊れてしまいます。まさに細心の注意が求められる作業です。そこで私たちはIR硬化法を採用しました。大きなオーブンを使って加熱する代わりに、IR光を直接材料に当てるのです。これにより、処理がより迅速に行え、省エネや無鉛製造のニーズにも合致します。