http://ir-heating-tech.com/ja/tags/%E3%82%B3%E3%83%B3%E3%83%88%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%83%AB%E3%81%95%E3%82%8C%E3%81%A6%E3%81%84%E3%82%8B/ Recent content in コントロールされている on Advanced IR Heating Technology Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 05:04:15 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 05:04:15 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="制御雰囲気焼成ランプ"></p> <p>ファブラインでは、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥時に温度が変動することは、単なる仕様上の問題だけではありません。それによって製造プロセスが中断される可能性もあります。従来のランプでは設定値を維持しようとしますが、周囲の環境が変わると、フィルムに応力が生じたり、汚れや粒子が発生したりして、欠陥検出時に問題となります。</p>