http://ir-heating-tech.com/ja/tags/%E3%82%A8%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%BF%E3%83%BC/ Recent content in エミッター on Advanced IR Heating Technology Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 11:49:55 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/the-role-of-ceramic-end-caps-in-reducing-carbon-footprints-for-semiconductor-ir-heating-systems/ Fri, 24 Jul 2026 11:49:55 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/the-role-of-ceramic-end-caps-in-reducing-carbon-footprints-for-semiconductor-ir-heating-systems/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="赤外線エミッタ用セラミックエンドキャップ"></p> <p>漏れを防ぐために：なぜセラミックエンドキャップがIRエミッターにとって重要か<br> 半導体製造施設の炭素排出量を削減したいのであれば、まずは熱管理から始める必要があります。一見簡単に思えますが、ウェーハ処理においては、無駄に消費されるエネルギーは、単純に無駄なコストやエネルギーとして失われてしまいます。</p> http://ir-heating-tech.com/ja/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="クォーツハロゲン赤外線エミッター"></p> <p>300mmラインではソフトベークでの手抜きは許されない。プロファイルがたった2°Cずれるだけで、クリティカルディメンション（CD）制御がナノメートル単位でずれてしまう。このマージンは、サーマルソースがウエハー全体で±0.1°Cを維持できない場合や、パーティクル発生による<a href="https://o-yate.com">突発的</a>な予防保全が発生した場合には急速に失われる。Quartz halogen赤外線エミッターは、稼働率と再現性のみが許容される環境のために設計されている。</p> http://ir-heating-tech.com/ja/posts/near-infrared-nir-emitter-bulb/ Fri, 05 Jun 2026 04:19:27 +0800 http://ir-heating-tech.com/ja/posts/near-infrared-nir-emitter-bulb/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="近赤外線 NIR エミッターバルブ"></p> <h1 id="リソグラフィー現場での基本">リソグラフィー現場での基本</h1> <p>温度の変動が数度あるだけで、クリティカルな寸法がずれたり、多くのウェハーが廃棄物になったりすることはご存知の通りです。ソフトベークとハードベークは「加熱ステップ」ではありません。これらは溶剤除去を固定し、フィルムの応力を管理し、後工程のエッチングや堆積に耐える熱的予算を設定するところです。このベークプロファイルがずれると、スカミング、接着問題、ラインエッジの粗さが生じます。</p>