ウェーハ on Advanced IR Heating Technology

ウェハ用精密IRセンサー

Mon, 27 Jul 2026 09:45:13 +0800

ウェーハの熱を無駄にしないでください。
ウェーハを処理する際、1ワットでも無駄になると、それは単純に無駄なコストになります。さらに悪いことに、その無駄なエネルギーが原因で均一でない加熱が起こり、結果として歩留まりが低下します。

ウェーハ加熱時の安全距離

Fri, 24 Jul 2026 12:04:43 +0800

スマートファブで適切な温度管理を行うには
今日、スマートファブを構築する際には、熱の扱い方を見直す必要があります。従来の方法ではもはや十分ではありません。ウエハ処理においては、赤外線システムが利用されています。これらは、熱エネルギーを効率的に集め、正確な温度制御を実現するための重要な手段です。

省エネ型ウェーハヒーター

Thu, 23 Jul 2026 11:51:37 +0800

なぜIR硬化がウェーハ処理に適しているのかもしフабで働いたことがある人なら、対流式オーブンの問題点を知っているはずです。それは、ウェーハを適切な温度にするために、空気のあらゆる部分を加熱する巨大な装置です。これは明らかにエネルギーの無駄遣いです。一方、赤外線（IR）硬化では、空気を加熱する代わりに、放射エネルギーを直接ウェーハの表面に送ります。これは効率的で、クリーンであり、さらに賢い方法です。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Wed, 22 Jul 2026 04:43:44 +0800

赤外線加熱と強制送風の比較：MEMSウエハを乾燥させるためのより優れた方法

もしMEMS製造ラインで働いたことがあるなら、その手順はよくわかるでしょう。ウェットエッチングや洗浄の後は、ウエハ上の水分を取り除かなければなりません。現在でも、多くの古いラインでは依然として強制送風方式が使われています。確かに効果的ですが、速度が遅いのが欠点です。

ウェーハ硬化ランプ用反射器

Sat, 18 Jul 2026 04:04:31 +0800

ガラスの破片が発生するのを防ぐ：ウェーハ硬化工程におけるチューブの破裂対策
高負荷の半導体製造ラインを運用している方なら、このような最悪の状況をご存知でしょう。赤外線ランプが破裂してしまうのです。
問題は、単に機械が停止するだけではありません。ガラスの破片やハロゲンの沈着物がウェーハ上に直接降り注ぎます。一度破裂すれば、一括してウェーハが廃棄処分になってしまいます。これは大惨事です。
私たちは、安全反射器システムを使ってこの問題を解決しました。

ウェーハ処理装置用温度センサー

Fri, 17 Jul 2026 07:31:59 +0800

無駄なエネルギーの消費をやめよう：なぜゴールド反射板を使うのか
正直に言って、ウェーハ処理においてエネルギーを無駄にするのは、単純に悪い設計です。高出力の赤外線ランプを使っていると、その熱の多くが実際には基板に当たりません。熱は側面に逃げたり、後方に反射したりして、製品ではなく施設内の空気を温めてしまいます。ここで役立つのがゴールドです。
私たちがゴールドコーティングを使用するのは、赤外線エネルギーを反射する能力が最も優れているからです。まるで鏡のように、ほぼすべてのエネルギーをウェーハに直接的に伝えるのです。
重要なのは方向性です。
通常の石英ランプでは熱があちこちに散らばりますが、ゴールド反射板を使えば状況が変わります。ゴールドは98％以上の赤外線エネルギーを反射するため、集中した熱が得られます。
最良な点は、電力を増やさずともウェーハ上の熱密度を大幅に高められることです。つまり、より多くのエネルギーを無駄に投じるのではなく、既存のエネルギーを適切な方向に送るだけです。
注意すべき点もあります。
これらは厳しい環境下でも機能するように設計されています。ゴールド層は薄いですが、しっかりと固定されているため、過酷な温度変化の中でも剥がれたりしません。その結果、温度上昇の時間が大幅に短縮されます。
しかし、エネルギーの供給が強力すぎるため、注意が必要です。もしPID制御が遅かった場合、目標温度を超えてしまう可能性があります。そのため、センサーの調整が必要です。また、冷却システムを確認せずに安価な装置にこれらを使うのは避けてください。とても高温になります。本当に高温です。
実際の効果としては、
ゴールド反射板を使用すれば、目標温度に到達するために必要なランプの数が減ります。つまり、装置のサイズが小さくなります。また、室温を維持するためにHVACシステムが頑張る必要もありません。
私たちは、既存の装置に代わって使えるようにこれらを設計しました。そうすることで、処理時間を短縮できます。ウェーハ全体にわたってより安定した温度分布が得られ、しかも電力の消費も少なくて済みます。理にかなっています。

卸売用ウェハ乾燥ランプ

Thu, 18 Jun 2026 04:34:06 +0800

製造現場では、少しのずれも許されません。フォトレジストの厚みが2％変動したり、微小な欠陥があっただけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。熱処理の段階で、パフォーマンスが決まります。標準的なランプでは、温度分布が不均一になったり、ホットスポットが生じたり、粒子が発生したりします。必要なのは、ウェーハレベルでの厳密な制御であり、「許容範囲」ではなく、仕様通りに制御することです。