きれい on Advanced IR Heating Technology

半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

Thu, 16 Jul 2026 02:45:06 +0800

なぜ半導体処理用のトロリーに赤外線加熱を採用するのか
ウェーハや基板を各工程間で移動させる際、温度を安定させることが最も重要です。長い間は、単純に温風を使っていました。しかし最近では、クリーンルーム内で使用するトロリーに赤外線加熱を採用する傾向にあります。その効果は劇的です。

クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

Mon, 13 Jul 2026 15:01:37 +0800

もし、半導体製造用のクリーンルーム用オーブンの設計に携わったことがあるなら、「壁が過度に熱くなる」という問題の厄介さをご存知でしょう。
これはよくある問題です。対流加熱を使って空気を温めますが、その空気は思った場所に留まりません。どこにでも当たってしまいます。すると、外側のカビネットが過度に熱くなってしまい、安全性の観点から見ても悪夢的であり、エネルギーの無駄遣いにもなります。
そこで、私たちは空気と戦うのをやめて、それを完全に無視することにしました。だからこそ、方向性のある赤外線加熱を採用したのです。

クリーンルーム用赤外線ヒーター

Fri, 10 Jul 2026 12:28:02 +0800

スマートファブで適切な加熱を実現するには
スマートファブを構築する際、従来の加熱方法、つまり単に熱風を送り込むだけではもはや不十分だと気づくでしょう。クリーンルームでは、空気の流れが問題となります。粒子が好き勝手に動いてはいけないのです。
そのため、私たちは赤外線システムを利用します。空気と戦う代わりに、赤外線はエネルギーを直接ワークピースに送り込みます。これにより、環境が安定し、他の部分に影響が及ばないのです。