Sensore IR ad alta precisione per wafer

Mon, 27 Jul 2026 09:45:13 +0800

Smettete di sprecare calore sulle vostre wafer
Quando si lavorano le wafer, ogni watt sprecato rappresenta denaro perso senza alcun vantaggio. Ancora peggio: quell’energia sprecata provoca un riscaldamento disomogeneo, il che rappresenta un vero problema per la qualità dei prodotti ottenuti.
Ecco perché utilizziamo riflettori a base di oro. L’obiettivo è semplice: assicurarsi che il calore venga effettivamente trasmesso alla wafer, invece di perdersi nel corpo macchina.

Perché l’oro?
Forse siete abituati ai riflettori tradizionali in alluminio, ma questi assorbono una quantità sorprendente di energia. Noi preferiamo utilizzare uno strato di oro, poiché l’oro è molto più efficace nel riflettere i raggi infrarossi.
Non si tratta di rendere la macchina più bella, ma di sfruttare principi fisici. L’oro fa sì che i fotoni infrarossi vengano riflessi con quasi nessuna perdita, così da ottenere un punto focale di calore più preciso e intenso.

Riscaldatore a temperatura ad alta precisione

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

Sulla linea di produzione, una deriva di 0,5°C durante il bake del photoresist è sufficiente a portare le dimensioni critiche fuori specifica e a scartare un intero lotto. Non servono promesse. Serve una piattaforma termica che mantenga la stabilità, turno dopo turno.

Cosa conta realmente

Abbiamo progettato il riscaldatore attorno a un emettitore a infrarossi a onde corte e a un nucleo termico stabilizzato in quarzo. Raggiunge rapidamente il setpoint e mantiene l’uniformità a livello wafer entro ±0,1°C. Il modulo è compatibile con cleanroom Classe 1–100 e azzera la generazione di particelle.
Il ciclo di controllo garantisce una ripetibilità del setpoint inferiore allo 0,05% anche in operazioni 24/7. Il risultato è un budget termico affidabile per soft bake, hard bake e post-exposure bake—senza overshoot, senza ritardi termici.

Precisione on Advanced IR Heating Technology

Sensore IR ad alta precisione per wafer

Riscaldatore a temperatura ad alta precisione

Cosa conta realmente