Riscaldatore AFM (Microscopio a Forza Atomica)

Thu, 04 Jun 2026 03:46:01 +0800

Sulla linea di produzione, la metrologia AFM può compromettersi quando la deriva termica riduce la risoluzione. Una variazione di 0,5°C è sufficiente a compromettere la calibrazione della sonda, e la storia delle cotture del photoresist può alterare uniformemente la dimensione critica. Abbiamo sviluppato il riscaldatore AFM per mantenere la temperatura a livello wafer sotto controllo, in modo che le scansioni e le cotture rispettino le specifiche, turno dopo turno.

Cosa conta, tecnicamente
Manteniamo l’uniformità termica a livello wafer entro ±0,1°C nell’area di scansione, utilizzando una sorgente alogena a onde corte con riflettore in quarzo e un supporto ceramico a bassa emissione di gas. Il riscaldatore è fornito in un package compatibile con camere bianche Class 1–100, sigillato per evitare generazione di particelle e condensati. Il controllo è in anello chiuso, tracciabile agli standard NIST, con una ripetibilità migliore di 0,05°C. La densità di potenza è regolata per un rapido assestamento — stabilizzazione in meno di un secondo — senza superare il budget termico delle pile sensibili.

(Atomico on Advanced IR Heating Technology

Riscaldatore AFM (Microscopio a Forza Atomica)