http://ir-heating-tech.com/it/tags/alogeno/ Recent content in Alogeno on Advanced IR Heating Technology Hugo it Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800 http://ir-heating-tech.com/it/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800 http://ir-heating-tech.com/it/posts/quartz-halogen-infrared-emitter/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Emettitore a infrarossi alogeno al quarzo"></p> <p>Su una linea da 300mm, non ci si può permettere nessuna approssimazione con il soft bake. Uno scostamento di appena 2°C nel profilo può spostare il controllo della dimensione critica (CD) di pochi nanometri. Questo margine svanisce rapidamente se la sorgente termica non mantiene ±0,1°C su tutto il wafer oppure se la generazione di particelle impone manutenzioni preventive non programmate. Gli emettitori a infrarossi alogeni in quarzo sono progettati per questo tipo di ambiente, dove il tempo di attività e la ripetibilità sono gli unici parametri accettabili.</p>