Emiter inframerah kuarsa halogen

Tue, 09 Jun 2026 03:47:06 +0800

Pada lini 300mm, Anda tidak bisa ceroboh dalam proses soft bake. Perpindahan suhu sebesar 2°C saja pada profil dapat menggeser kontrol dimensi kritis (CD) hingga nanometer. Margin tersebut cepat hilang jika sumber panas tidak mampu mempertahankan ±0,1°C di seluruh wafer—atau jika produksi partikel memaksa jadwal perawatan preventif yang tidak direncanakan. Pemancar inframerah quartz halogen dibuat untuk lingkungan semacam ini, di mana waktu operasi dan reprodusibilitas adalah satu-satunya pengaturan yang dapat diterima.

Yang paling penting secara teknis adalah pengiriman energi. Pemancar quartz halogen menghasilkan inframerah gelombang pendek dengan respon cepat dan kontrol spektral yang ketat, sehingga permukaan wafer cepat stabil. Selubung quartz mampu menangani suhu tinggi dan tetap kompatibel di ruang bersih, sedangkan siklus halogen menjaga keluaran tetap stabil selama ribuan jam. Dalam praktiknya, ini berarti keseragaman suhu tingkat wafer dalam ±0,1°C selama pemanggangan photoresist—dan tidak ada partikel yang dihasilkan yang dapat merusak spesifikasi Kelas 1–100 Anda.

Halogen on Advanced IR Heating Technology

Emiter inframerah kuarsa halogen