Pemanas semikonduktor yang telah mendapat sertifikasi CE

Tue, 23 Jun 2026 00:20:17 +0800

Di tahap litografi, perubahan suhu sebesar 0,3°C selama proses pemanasan fotoresist sudah cukup untuk menyebabkan penyimpangan ketebalan garis yang dihasilkan, sehingga produk tersebut tidak layak digunakan dalam tes akhir. Tidak ada kesempatan untuk memulai proses ulang. Kami membuat pemanas semikonduktor yang telah mendapat sertifikasi CE ini agar perilaku termal tetap berada dalam batas yang ditentukan, dari satu siklus ke siklus berikutnya.

Yang penting dalam desain pemanas ini Pemanas ini menggunakan elemen inframerah gelombang pendek (SWIR), dengan saluran termal berbahan kuarsa. Dengan demikian, pemanas ini dapat bekerja dengan cepat dan menghasilkan suhu yang stabil. Di area pemanasan, tingkat keseragaman suhu pada setiap wafer tetap berada di kisaran ±0,1°C. Tingkat repetibilitasnya sangat baik, sehingga grafik SPC tidak akan menunjukkan fluktuasi yang signifikan. Desain ini sesuai dengan standar ruang bersih kelas 1–100; bahan-bahan yang digunakan memiliki emisi gas yang rendah, dan desainnya mampu mengurangi pembentukan partikel-partikel kecil. Pemanas ini dirancang untuk digunakan 24/7, dengan adanya rangkaian perlindungan dan terminal yang kokoh agar tetap berfungsi dengan baik.

Disetujui on Advanced IR Heating Technology

Pemanas semikonduktor yang telah mendapat sertifikasi CE