Mengapa kita beralih ke pemanasan menggunakan gelombang infra merah untuk kendaraan pengangkut semikonduktor
Saat memindahkan wafer atau substrat antar stasiun dalam proses pengolahan yang kompleks, menjaga suhu tetap konstan sangatlah penting. Selama ini, kita menggunakan udara panas untuk memanaskan benda-benda tersebut. Namun belakangan ini, kita mulai beralih ke metode pemanasan menggunakan gelombang infrara (IR). Perbedaannya sangat signifikan.
Pada dasarnya, hal ini berkaitan dengan cara panas sampai ke permukaan benda yang dipanaskan.
Masalah yang muncul dari penggunaan udara panas
Coba pikirkan tentang cara kerja udara panas: pertama-tama udara harus dipanaskan terlebih dahulu, lalu udara tersebut baru memanaskan benda yang bersangkutan. Prosesnya lambat. Selain itu, aliran udara tersebut juga menciptakan turbulensi. Di ruang bersih kelas 100, turbulensi merupakan masalah yang sangat tidak diinginkan.
Gelombang infrara berbeda. Energi yang dihasilkannya bersifat radiasi, sehingga langsung mengenai permukaan benda yang dipanaskan. Waktu yang dibutuhkan untuk memanaskan benda pun berkurang drastis, dari menit menjadi detik saja. Dengan demikian, waktu pemrosesan pun berkurang. Itulah mengapa teknologi IR semakin banyak digunakan di jalur produksi berkecepatan tinggi.
Cara memasang sistem pemanasan IR
Untuk menggunakan teknologi IR, diperlukan peralatan khusus. Umumnya, kita menggunakan lampu kuarsa berfrekuensi rendah. Lampu ini mampu menghasilkan panas yang tinggi dalam ruang yang kecil. Yang terbaik adalah tidak ada komponen bergerak; tidak ada blower, fan, atau getaran. Dengan demikian, tidak akan ada partikel-partikel yang berterbangan di sekitar area kerja.
Hal yang perlu diperhatikan adalah pasokan daya. Jika digunakan lampu dengan daya tinggi, misalnya 2000W atau lebih per lampu, maka arus listrik yang dibutuhkan juga tinggi. Pastikan kabel yang digunakan mampu menahan beban tersebut, agar tidak terjadi penurunan tegangan yang dapat mengganggu proses pemanasan.
Kekurangan penggunaan teknologi IR
Teknologi IR bukanlah solusi sempurna. Energi yang dihasilkannya hanya efektif jika berada dalam garis pandang yang tepat. Jika beban yang dipindahkan tidak rata atau ada halangan di jalur radiasi, maka akan muncul daerah-daerah yang dingin. Udara memang efektif untuk menyebarkan panas secara merata, tetapi IR tidak memiliki kemampuan seperti itu.
Kita perlu memperhatikan posisi pemasangan lampu dengan seksama. Jika posisinya salah sedikit saja, maka pola distribusi panas akan berubah. Memang diperlukan perencanaan yang matang, tetapi kecepatan yang didapatkan tentu sepadan dengan usaha yang dilakukan.