http://ir-heating-tech.com/hi/tags/%E0%A4%AE%E0%A5%89%E0%A4%A1%E0%A5%8D%E0%A4%AF%E0%A5%82%E0%A4%B2/ Recent content in मॉड्यूल on Advanced IR Heating Technology Hugo hi Tue, 23 Jun 2026 00:28:25 +0800 http://ir-heating-tech.com/hi/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Tue, 23 Jun 2026 00:28:25 +0800 http://ir-heating-tech.com/hi/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="फैब के लिए इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूल्स"></p> <p>फैब फ्लोर पर, “बेक” चरण कोई साधारण प्रक्रिया नहीं है… यह तो एक महत्वपूर्ण चरण है। वेफर में आधे डिग्री का भी अंतर, महत्वपूर्ण आयामों को प्रभावित कर सकता है, एवं लाइन-विड्थ नियंत्रण को बर्बाद कर सकता है। ऐसे में ऐसी ऊष्मा ही आवश्यक है, जिस पर भरोसा किया जा सके… न कि ऐसी ऊष्मा, जिसके बारे में कुछ भी नहीं कहा जा सकता।</p> <p><strong>क्या महत्वपूर्ण है?</strong><br> हम इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूलों का उपयोग करते हैं… जिससे वेफर पर तापमान की समानता ±0.1°C तक बनी रहती है। ये मॉड्यूल फास्ट-रिस्पॉन्स वाले NIR स्रोतों का उपयोग करते हैं… ताकि फोटोरेजिस्ट ठीक से ऊष्मा को अवशोषित कर सके। ये मॉड्यूल क्वार्ट्ज-रहित हैं… एवं फिलामेंटों के आधार पर ही डिज़ाइन किए गए हैं… इसलिए ये क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकते हैं… बिना किसी कण के। इन मॉड्यूलों के कारण प्रक्रिया-कक्ष में गैसें एवं संदूषण नहीं जा पाता।</p>