http://ir-heating-tech.com/he/tags/bake/ Recent content in Bake on Advanced IR Heating Technology Hugo he Sat, 27 Jun 2026 05:04:15 +0800 http://ir-heating-tech.com/he/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 05:04:15 +0800 http://ir-heating-tech.com/he/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="מנורת אפייה באטמוספירה מבוקרת"></p> <p>בחדר הייצור, שינויי הטמפרטורה במהלך תהליך האפייה של הפוטורזיסט או ייבוש הווה – אינו רק בעיה של עמידה במפרטים הטכניים; הוא יכול לגרום לכישלון התהליך כולו. למנורות המסורתיות יש יכולת לשמור על טמפרטורה קבועה, אך כאשר האווירה משתנה, עלולים להופיע בעיות כמו לחץ על החומר, כתמים וחלקיקים שניתן לגלות בבדיקות האיכות.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong><br> אנו משתמשים במנורות עם רכיבי הלוגן/קוורץ באורך גל קצר, ויש להן שליטה תרמית אוטומטית, שמאפשרת שמירה על אחידות הטמפרטורה ברמה של ±0.1°C בכל אזור האפייה. החדר נשמר ברמת ניקיון של Class 1–100, והמנורות עצמן אינן יוצרות שום חלקיקים. האמינות של המנורות נשמרת לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי של פחות מ-5% בעוצמת האור – כך שהפרופילים של תהליכי האפייה נשארים עקביים מלאט לאט.</p> http://ir-heating-tech.com/he/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/he/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="אלמנט חימום לאפיית רכות בליתוגרפיה"></p> <p>על רצפת הליתוגרפיה, אפייה רכה אינה רק חימום מקדים. זו שלב תרמי מבוקר בקפידה שנועד לקבע את תכולת המסיסים, לקבע את ההיצמדות של הפוטורזיסט ולהשפיע ישירות על בקרת רוחב הקווים. סטייה של חצי מעלה יכולה לשנות את TMU, ונקודת חום יכולה להפוך לפגם חוזר על פני הוויפר. בנינו את גוף החימום כדי להסיר את אי הוודאות הזו מתקציב החום.</p> <p>מה שחשוב בשטח הוא ביצועים שניתן לסמוך עליהם כאשר המסלול פועל בעומס כבד. גוף החימום מתייצב במהירות, שומר על אחידות במצב יציב על פני משטח האפייה ונשאר נקי בחדר נקי לתהליכי ייצור.</p>