http://ir-heating-tech.com/he/tags/%D7%9C%D7%99%D7%AA%D7%95%D7%92%D7%A8%D7%A4%D7%99%D7%94/ Recent content in ליתוגרפיה on Advanced IR Heating Technology Hugo he Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/he/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Sat, 06 Jun 2026 04:12:34 +0800 http://ir-heating-tech.com/he/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="אלמנט חימום לאפיית רכות בליתוגרפיה"></p> <p>על רצפת הליתוגרפיה, אפייה רכה אינה רק חימום מקדים. זו שלב תרמי מבוקר בקפידה שנועד לקבע את תכולת המסיסים, לקבע את ההיצמדות של הפוטורזיסט ולהשפיע ישירות על בקרת רוחב הקווים. סטייה של חצי מעלה יכולה לשנות את TMU, ונקודת חום יכולה להפוך לפגם חוזר על פני הוויפר. בנינו את גוף החימום כדי להסיר את אי הוודאות הזו מתקציב החום.</p> <p>מה שחשוב בשטח הוא ביצועים שניתן לסמוך עליהם כאשר המסלול פועל בעומס כבד. גוף החימום מתייצב במהירות, שומר על אחידות במצב יציב על פני משטח האפייה ונשאר נקי בחדר נקי לתהליכי ייצור.</p>