http://ir-heating-tech.com/he/tags/%D7%9C%D7%95%D7%97%D7%94/ Recent content in לוחה on Advanced IR Heating Technology Hugo he Thu, 02 Jul 2026 09:11:15 +0800 http://ir-heating-tech.com/he/posts/hot-plate-replacement-infrared-heater/ Thu, 02 Jul 2026 09:11:15 +0800 http://ir-heating-tech.com/he/posts/hot-plate-replacement-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heating-tech.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="החלפת המשטח החם במחמם אינפרא אדום"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה, אין לראות בשלבי החימום השונים רק “שלבי טמפרטורה”. למעשה, אלו הם הגורמים שקובעים את תכונות הפוטורזיסט, את אחידות הממדים של החומר, ובסופו של דבר – את היעילות של התהליך. שינוי של 1 מעלה צלזיוס, או נקודה חמה, או חלקיקים שנפלטים מהחיממים, יכולים לגרום לבעיות כמו לכלוך, שינוי ברוחב הקווים, וכן לבעיות שלא ניתן לגלות בבדיקות הרגילות. פיתחנו חיממים חלופיים באמצעות קרינה אינפרא-אדומה, כדי למנוע סיכונים אלו באמצעות שליטה תרמית מדויקת.</p> <p><strong>מהחשוב מבחינה טכנית</strong> הגופים הפולטים קרינה אינפרא-אדומה שלנו מחממים במהירות, כאשר החימום מתבצע באופן אחיד על פני כל שטח הוואפר – בדיוק של ±0.1 מעלה צלזיוס. העיצוב שלהם אינו כולל קוורץ, והם פולטים מעט מאוד חומרים, כך שאין זיהום מולקולרי ואין פליטת חלקיקים. כתוצאה מכך, רמת החלקיקים בחדר הנקי נשארת יציבה ברמות 1–100. הדיוק בין ערכי הטמפרטורה השונים הוא ±0.3 מעלה צלזיוס לאורך 24 שעות, כך שתכונות הפוטורזיסט נשארות קבועות לאורך זמן. גוף החימם ניתן להתקנה במערכות החימום הקיימות, והוא פועל בשיתוף עם מערכות הבקרה על הטמפרטורה הקיימות, בלי צורך בבדיקות נוספות.</p>