Capteur de température pour outil de wafer

Fri, 17 Jul 2026 07:31:37 +0800

Arrêtez de gaspiller votre énergie : pourquoi utilisons-nous des réflecteurs en or ? Soyons honnêtes : gaspiller de l’énergie lors du traitement des wafers, c’est simplement un mauvais design. Lorsque l’on utilise des lampes infrarouges à haute puissance, une grande partie de cette chaleur ne touche pas vraiment le substrat. Elle s’échappe plutôt vers les côtés ou rebondit en arrière, ce qui chauffe l’air ambiant plutôt que le produit lui-même. C’est là que l’or entre en jeu. Nous utilisons des revêtements en or parce qu’ils sont les meilleurs pour refléter l’énergie infrarouge. En fait, ils agissent comme des miroirs pour la chaleur, dirigeant presque chaque watt directement vers le wafer. Le secret réside donc dans la direction de diffusion de la chaleur. Les lampes en quartz traditionnelles diffusent la chaleur partout. En ajoutant un réflecteur en or, nous changeons complètement la situation. Comme l’or reflète plus de 98 % de cette énergie infrarouge, on obtient une zone de chaleur concentrée. Et le meilleur ? On obtient une densité de chaleur bien plus élevée sur le wafer, sans avoir besoin d’augmenter la puissance fournie par le panneau électrique. On ne cherche pas simplement à fournir plus d’énergie, mais plutôt à diriger correctement l’énergie déjà disponible. Quelques points à prendre en compte : Ces réflecteurs sont conçus pour résister aux conditions extrêmes. La couche d’or est fine, mais elle est solidement fixée, ce qui évite qu’elle ne se détache ou s’émiette pendant ces cycles thermiques intenses. Vous remarquerez que les temps de chauffage seront beaucoup plus rapides. Mais attention : comme la transmission d’énergie est très intense, il faut être prudent. Si votre système de contrôle de température est peu précis, vous risquez de dépasser la température cible. Il faudra alors calibrer vos capteurs pour obtenir une meilleure précision. De plus, ne mettez jamais ces réflecteurs dans des équipements de faible qualité sans vérifier d’abord leurs systèmes de refroidissement. La température peut devenir très élevée… vraiment très élevée. Quelle est l’efficacité réelle de ces réflecteurs ? Lorsque vous utilisez des réflecteurs en or, vous n’avez pas besoin de tant de lampes pour atteindre la température cible. Cela signifie que l’espace nécessaire pour installer l’équipement diminue. De plus, le système de climatisation n’a pas besoin de travailler autant pour maintenir la pièce fraîche. Nous avons conçu ces réflecteurs pour remplacer ceux existants, afin de vous permettre de gagner du temps. Vous obtenez ainsi un profil thermique plus stable sur tout le wafer, et ce, avec moins d’électricité consommée. C’est logique, non ?

Chauffage à température de haute précision

Mon, 01 Jun 2026 20:31:35 +0800

Sur le plancher de fabrication, un décalage de 0,5 °C lors du séchage du photoresist suffit à faire sortir les dimensions critiques des tolérances et à mettre au rebut un lot entier. Vous n’avez pas besoin de promesses. Vous avez besoin d’une plateforme thermique stable, quart de travail après quart de travail.

Ce qui compte sous le capot

Nous avons conçu le chauffage autour d’un émetteur infrarouge à ondes courtes et d’un cœur thermique stabilisé au quartz. Il atteint rapidement le point de consigne et maintient l’uniformité au niveau du wafer à ±0,1 °C. L’ensemble est compatible salle blanche de classe 1–100 et ne génère aucune particule.
La boucle de contrôle assure une répétabilité du point de consigne inférieure à 0,05 % même en fonctionnement 24/7. Le résultat est un budget thermique fiable pour le soft bake, le hard bake et le post-exposure bake — sans dépassement ni décalage thermique.

Température on Advanced IR Heating Technology

Capteur de température pour outil de wafer

Chauffage à température de haute précision

Ce qui compte sous le capot